ＫＨネオケム株式会社（本社：東京都中央区、代表取締役社長：髙橋理夫）は、2025年11月17日（月）～11月20日（木）に東京・両国「KFC Hall & Rooms」で開催される「第38回マイクロプロセス・ナノテクノロジー国際会議（MNC2025）※１」に参加いたします。
会期最終日の11月20日（木）には、兵庫県立大学 山川進二 准教授と半導体技術に関する共同研究成果をポスター発表いたします。
マイクロプロセス・ナノテクノロジー国際会議は、微細加工・ナノテクノロジー分野における国内外の研究者・技術者が一堂に会し、リソグラフィ、電子・イオンビーム技術、ナノ材料、ナノデバイス、さらにはバイオ・医療・環境分野との融合など、最先端テーマを議論・発表する国際会議です。
1988年の第1回開催以来、今年で38回目を迎え、光子・電子・イオンなどのエネルギー粒子やナノ材料を用いたリソグラフィ科学・プロセス技術に関する世界有数のフォーラムとして知られています。
＜共同研究の概要＞
２０１９年から極端紫外線（Extreme Ultraviolet；EUV）を用いたＥＵＶリソグラフィ技術※2による半導体チップの量産が始まり、半導体の微細加工技術は日々進歩しております。これに伴い、半導体製造工程で使用される金属含有量のごく僅かな高純度溶剤の品質が、これまで以上に重要な役割を担うようになりました。
当社は、EUVリソグラフィ研究の最前線を担う兵庫県立大学 山川進二 准教授と協力し、半導体製造工程に不可欠なレジスト組成物中の溶剤の効果を解明すべく共同研究を進めています。高純度溶剤と兵庫県立大学ニュースバル放射光施設が有する軟X線を用いた材料評価を基点に、半導体産業のさらなる発展に貢献してまいります。
【学会情報】
| 学会名 | 第38回マイクロプロセス・ナノテクノロジー国際会議（MNC2025） |
| 会期 | 2025年11月17日（月）～11月20日（木） |
| 会場 | KFC Hall & Rooms 〒130-0015 東京都墨田区横網1-6-1 国際ファッションセンタービル （交通）都営地下鉄大江戸線 両国駅（A1出口）徒歩０分／JR総武線 両国駅（東口・西口）徒歩約７分 https://www.tokyo-kfc.co.jp/access/ |
| 発表概要 | 日時： 2025年11月20日（木） 15:30～17:30 発表番号：20P-1-1 タイトル：Comparison of RSoXS-Based Chemical Non-Uniformity with EUV Contrast Curve in PHS-Boc Resists 場所：Room 106, 10F |
※1 学会ホームページ(MNC2025)
https://imnc.jp/2025/
※2 波長が13.5nmの極端紫外線を用いた半導体露光技術。
■ＫＨネオケム公式サイト
https://www.khneochem.co.jp/
◎PDF版はこちらから。
【ＫＨネオケム㈱】251113_「第３８回マイクロプロセス・ナノテクノロジー国際会議（MNC２０２５）」での発表のお知らせ
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【本件についてのお問い合わせ先】
KHネオケム株式会社 技術開発センター
TEL:059-331-5110